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English 光栅振镜方头系列产品是中国首款针对高精度与低漂移要求而研发的全数字扫描振镜。该二维振镜覆盖型号包括：10/14/20/30mm 光斑孔径的二维振镜。自主研发的高精度光栅编码器打破了国外技术垄断，23bit 分辨率的数字振镜实现了出色的定位精度和重复定位精度。基于 FPGA 的数字驱动板具备灵活配置能力，可匹配不同负载的 10-30mm 振镜。
光栅振镜方头系列产品是中国首款针对高精度与低漂移要求而研发的全数字扫描振镜。该二维振镜覆盖型号包括：10/14/20/30mm 光斑孔径的二维振镜。自主研发的高精度光栅编码器打破了国外技术垄断，23bit 分辨率的数字振镜实现了出色的定位精度和重复定位精度。基于 FPGA 的数字驱动板具备灵活配置能力，可匹配不同负载的 10-30mm 振镜。
自主研发高精度光栅编码器；
23bit位置分辨率数字电机实现卓越的定位精度和重复定位精度；
实时检测振镜状态，确保振镜安全可靠运行；
全数字设计保证极低的漂移和极高的稳定性。
光栅振镜方头一代 | ExtraScan I | 10mm | 14mm | 20mm | 30mm |
入射光斑直径 | Input Beam Aperture (mm) | 10 | 14 | 20 | 30 |
光柱位移 | Beam Displacement (mm) | 12.54 | 16.42 | 25.25 | 35.53 |
| 加速时间 | Acceleration Time（ms） | 0.3 | 0.4 | 0.65 | 1.2 |
| 跟随误差 | Tracking Error (ms) | 0.3 | 0.40 | 0.65 | 1.2 |
| 重复精度 | Repeatability (µrad) | ＜1 | ＜1 | ＜1 | ＜1 |
| 零位漂移 | Offset Drift (µrad/K) | ＜15 | ＜15 | ＜15 | ＜15 |
| 增益漂移 | Gain Drift (ppm/K) | ＜8 | ＜8 | ＜8 | ＜8 |
| >8小时长时间漂移 | Long-term drift over 8 hours (mrad) | ＜0.08 | ＜0.08 | ＜0.08 | ＜0.08 |
| 1%全行程 | 1% Of Full Scale (ms) | 0.55 | 0.85 | 1.0 | 1.50 |
| 10%全行程 | 10% Of Full Scale (ms) | 1.40 | 1.80 | 3.0 | 5.0 |
| 定位速度 | Positioning Speed (m/s) | 7.0 | 5.0 | 3.0 | 2.0 |
| 扫描角度 | Typical Scan Angle (°) | ±25 | ±25 | ±25 | ±25 |
| 增益误差 | Gain Error (mrad) | <5 | <5 | <5 | <5 |
| 零位误差 | Zero Error (mrad) | <5 | <5 | <5 | <5 |
| 非线性度 | Nonlinearity (%) | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| 电源要求 | Power Requirements | ±15VDC, ≥3A | ±15VDC, ≥3A | ±15VDC, ≥3A | ±15VDC, ≥3A |
| 通讯协议 | Communication Protocol | 16bit:XY2-100 20bit:ST2-100 | 16bit:XY2-100 20bit:ST2-100 | 16bit:XY2-100 20bit:ST2-100 | 16bit:XY2-100 20bit:ST2-100 |
| 工作温度 | Operation Temperature (℃) | 25±10 | 25±10 | 25±10 | 25±10 |
| 水冷要求 | Typical Water Temperature | 51/min at △p<0.1 bar，P<4 bar | 51/min at △p<0.1 bar，P<4 bar | 51/min at △p<0.1 bar，P<4 bar | 51/min at △p<0.1 bar，P<4 bar |
| 重量 | Weight (kg) | 1.9 | 2.3 | 5.0 | 5.2 |
光栅振镜方头二代 | ExtraScan II | 10mm | 14mm | 20mm | 30mm |
入射光斑直径 | Input Beam Aperture (mm) | 10 | 14 | 20 | 30 |
光柱位移 | Beam Displacement (mm) | 12.54 | 16.42 | 25.25 | 35.53 |
| 加速时间 | Acceleration Time（ms） | 0.3 | 0.4 | 0.5 | 1.2 |
| 跟随误差 | Tracking Error (ms) | 0.2 | 0.25 | 0.24 | 0.80 |
| 重复精度 | Repeatability (µrad) | ＜1 | ＜1 | ＜1 | ＜1 |
| 零位漂移 | Offset Drift (µrad/K) | ＜15 | ＜15 | ＜15 | ＜15 |
| 增益漂移 | Gain Drift (ppm/K) | ＜8 | ＜8 | ＜8 | ＜8 |
| >8小时长时间漂移 | Long-term drift over 8 hours (mrad) | ＜0.05 | ＜0.05 | ＜0.05 | ＜0.05 |
| 1%全行程 | 1% Of Full Scale (ms) | 0.45 | 0.6 | 0.85 | 1.30 |
| 10%全行程 | 10% Of Full Scale (ms) | 1.30 | 1.50 | 2.60 | 4.80 |
| 定位速度 | Positioning Speed (m/s) | 10.0 | 7.0 | 5.0 | 3.0 |
| 扫描角度 | Typical Scan Angle (°) | ±25 | ±25 | ±25 | ±25 |
| 增益误差 | Gain Error (mrad) | <5 | <5 | <5 | <5 |
| 零位误差 | Zero Error (mrad) | <5 | <5 | <5 | <5 |
| 非线性度 | Nonlinearity (%) | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| 电源要求 | Power Requirements | ±15VDC, ≥3A | ±15VDC, ≥3A | ±15VDC, ≥3A | ±15VDC, ≥3A |
| 通讯协议 | Communication Protocol | 16bit:XY2-100 20bit:ST2-100 | 16bit:XY2-100 20bit:ST2-100 | 16bit:XY2-100 20bit:ST2-100 | 16bit:XY2-100 20bit:ST2-100 |
| 工作温度 | Operation Temperature (℃) | 25±10 | 25±10 | 25±10 | 25±10 |
| 水冷要求 | 51/min at △p<0.1 bar，P<4 bar | 51/min at △p<0.1 bar，P<4 bar | 51/min at △p<0.1 bar，P<4 bar | 51/min at △p<0.1 bar，P<4 bar | 51/min at △p<0.1 bar，P<4 bar |
| 重量 | Weight (kg) | 1.9 | 2.3 | 5.0 | 5.2 |
